Gen7
設備分類：實驗室、研發(fā)型 該設備廣泛的應用能勝任眾多的需求。 除了SONOSCAN各種功能外，該設備還為用戶開放了自定義空間，讓用戶使用起來更方便舒適，并幫助客戶能夠生產(chǎn)出高質量的產(chǎn)品。 主要功能：
帶動態(tài)平衡塊和線性馬達驅動的掃描塔使得圖像采集更清晰
ESD操作臺面，**人體工程學和防靜電設計
簡易裝載臺可容納JEDEC托盤和300mm晶圓
精準的掃描臺和樣品固定架
TurboSpeed加速掃描功能
PolyGate功能，每個通道可設置多達100個Gate，能同時收集100層感興趣的區(qū)域數(shù)據(jù)，包括能量、色譜、波形等，并生成100張圖像
Multi-Gate和Probing-Gate功能允許單層或多層聚焦成像
SonoSimulator功能使薄層、多層樣品分析變得容易，例如堆疊芯片
STaR 模式能同時獲得反射和透射兩種圖像
Quantitative B-Scan Analysis Mode (Q-BAM)基于B-Scan提供切層的極性,幅值和深度數(shù)據(jù)
可選Digital Image Analysis (DIA)數(shù)字圖像分析自動計算出缺陷大小、數(shù)目、多少和分布
可選Virtual Rescanning Mode (VRM)樣品虛擬建模脫機掃描模式
可選Waterfall流水式探頭和在線溫度控制
可選FDI頻域成像模式