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產(chǎn)品資料
方腔式電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備
簡(jiǎn)介：

Temescal電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是為更高效率、高精準(zhǔn)鍍膜產(chǎn)能而設(shè)計(jì)的物**相沉積生產(chǎn)型設(shè)備。這個(gè)指導(dǎo)原則支配著Temescal整個(gè)產(chǎn)品線的設(shè)計(jì)思想。Temescal經(jīng)典系列系統(tǒng)符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，具備強(qiáng)大的生產(chǎn)能力和高均勻性。

產(chǎn)品詳情

FC-3800和FC-4400是適用于潔凈室的、真空鎖結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)，專門面向lift-off工藝的大生產(chǎn)應(yīng)用。這些鍍膜機(jī)為連續(xù)高效的運(yùn)行而設(shè)計(jì)，并提供高均勻性的薄膜沉積。FC-3800的源基間距為34”（965mm），而FC-4400的源基間距為42”（1067mm）。這兩款系統(tǒng)都可配置成獨(dú)立機(jī)臺(tái)或穿墻式潔凈室安裝，也都支持鍍膜源、材料進(jìn)給、加熱、清洗等附件的各種組合。




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